科技創(chuàng)新

高效空氣過濾器

高效空氣過濾器
高效空氣過濾器[14]
隨著潔凈技術(shù)的發(fā)展，高效空氣過濾器無論是過濾材料、結(jié)構(gòu)形式、密封材料、外框材料以及檢測方法變化發(fā)展很快，尤其是集成電路生產(chǎn)的日新月異，要求生產(chǎn)環(huán)境達(dá)到控制微粒直徑為0.05~0.1μm，空氣潔凈度登記要求1級甚至更為嚴(yán)格，并且還要控制生產(chǎn)環(huán)境中的分子級化學(xué)污染物、重金屬污染物等。為了滿足各種工業(yè)產(chǎn)品細(xì)微化、高精密度的要求，除了從潔凈室的布置、圍護(hù)和室內(nèi)裝飾以及凈化空調(diào)系統(tǒng)的形式、氣流流型等方面采用可靠地技術(shù)措施外，關(guān)鍵技術(shù)措施之一便是選用符合要求的高效空氣過濾器（HEPA）、超高效空氣過濾器（ULPA）。在這方面國內(nèi)外的科研、設(shè)計和制造廠家都做了大量研究開發(fā)工作，取得了許多可用的成果，但是國產(chǎn)高效過濾器的產(chǎn)品與國際先進(jìn)產(chǎn)品相比仍有較大差距，尤其是用于比5級（100級）和要求嚴(yán)更嚴(yán)格的潔凈室用高效過濾器、超高效過濾器的質(zhì)量、檢測方法等方面存在著較大差距。
我國的國家標(biāo)準(zhǔn)GB13354-92《高效空氣過濾器》中規(guī)定，高效過濾器是采用納焰法檢測，其效率達(dá)到99.9%以上的過濾器；或?qū)α健?.1μm的微粒采用粒子計數(shù)測定法，其效率達(dá)到99.999%以上的過濾器。高效過濾器的分類見

表4-37 高效過濾器的分類

類別

性能指標(biāo)

額定風(fēng)量下效率η/%

20%額定風(fēng)量下效率η/%

額定風(fēng)量下初阻力/Pa

出廠檢漏

≥99.9

≥99.99

≥99.999

≥99.999（0.1μm）

—

≥99.99

≥99.999

≥99.999（0.1μm）

≤190

≤220

≤250

≤280

—

檢漏

高效過濾器的耐火分級為3級。1級過濾器，過濾器的全部材料都是不燃的，不燃性材料應(yīng)符合國家標(biāo)準(zhǔn)GB8624，A級;2級過濾器濾料應(yīng)為不燃性材料，其要求同1級；分隔板、框架可采用符合GB8624，B2級的可燃性材料；3級過濾器，過濾器的全部材料可采用符合GB8624 ，B2級的可燃性材料。

高效過濾器的規(guī)格按有分隔板過濾器和無分隔板過濾器列于表4-38和表4-39中。

表4-38 有分隔板過濾器規(guī)格

規(guī)格代號	外形尺寸/mm			額定風(fēng)量/m³.h^-1
規(guī)格代號	H	W	D	額定風(fēng)量/m³.h^-1
4	400	400	150	500
5	500	500	150	750
6	600	600	150	1000
7	700	700	150	1500
8	800	800	150	2000
9	900	900	150	2500

注：1.當(dāng)深度為 220mm 時，其相應(yīng)額定風(fēng)量比表中數(shù)值增加50%；當(dāng)寬度尺加大50%或1倍時，則其相應(yīng)額定風(fēng)量也比表中數(shù)值增大50%或1倍。
2.當(dāng)寬度尺寸加大50 %或 1倍時，其相應(yīng)額定風(fēng)量比表中數(shù)值也增大50%或 1倍；但7號和7號以上規(guī)格的寬度尺寸不得加大，主要是考慮過濾器的穩(wěn)定性。

表4-39 無分隔板過濾器規(guī)格

規(guī)格代號	外形尺寸/mm			額定風(fēng)量/m³.h^-1
規(guī)格代號	H	W	D	額定風(fēng)量/m³.h^-1
4	400	400	80	650
5	500	500	80	1000
6	600	600	80	1500
7	700	700	80	2000
8	800	800	80	2500
9	900	900	80	3000

注：1.當(dāng)深度為 220mm 時，其相應(yīng)額定風(fēng)量比表中數(shù)值增加50%；當(dāng)寬度尺寸加大50%或1倍時，則其相應(yīng)額定風(fēng)量也比表中數(shù)值增大50%或1倍。
2.當(dāng)寬度尺寸加大50 %或 1倍時，其相應(yīng)額定風(fēng)量比表中數(shù)值也增大50%或 1倍；但7號和7號以上規(guī)格的寬度尺寸不得加大，主要是考慮過濾器的穩(wěn)定性。

高效過濾器的標(biāo)注方式如下，型號規(guī)格、代號見表 4-40。

表4-40 高效過濾器型號規(guī)格代號

序號	項目名稱	含義	代號
1	產(chǎn)品名稱	高效空氣過濾器	G
2	結(jié)構(gòu)類別	有分隔板過濾器	Y
2	結(jié)構(gòu)類別	無分隔板過濾器	W
3	性能類別	按效率阻力高低分四級	A，B，C，D
4	耐火級別	按結(jié)構(gòu)耐火程度分三級	1，2，3
5	基本規(guī)格	表4-38、表4-39中每一編號代表一種規(guī)格	4，5，......6，...9
6	其他規(guī)格	當(dāng)表4-38中深度為220mm時	S
		當(dāng)寬度為基本規(guī)格1.5倍時	Z
		當(dāng)寬度為基本規(guī)格2倍時	K

標(biāo)注示例：GY-A-3-6型表示A類有分隔板過濾器，3級耐火，外形尺寸600mm×600mm×150mm額定風(fēng)量1000m3/h；GY-A-3-6KS型則表示外形尺寸為600mm×1200mm×220mm，額定風(fēng)量為1300m3/h。

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